②国内・海外のAMAT付帯設備の修理業務を行っています。
業務内容：上記に記載されている装置以外にも修理可能です。
0010-14157
MONOCROMATOR MODULE ASSY-P/C
ENDPNT 19" (5000E , CENTURA , DPS+POLY)
0100-09054
PCB ASSY, ANALOG INPUT (P5000 , ENDURA)
0100-11001
PWB
ANALOG OUTPUT (ENDURA , P5000 ,
PVD)
0100-11002
DI/DO BOARD
(CENTURA , P5000)
0100-20001
PCB ASSY SYSTEM ELECT.I
(C5200C , CENTURA , ENDURA , P5000)
010-20003
wPCB ASSY
DIGITAL I/O (C5200 , CENTURA , ENDURA , HDP-PVD , P5000)
010-20100
PCB ASSY ANALOG INPUT/OUTPUT
(C5200 , Cen-DPS ,
CENTURA , CMP , ENDURA , MIRRA , HDP-CVD , P5000 , REFLEXION)
詳しい内容はこちらをご覧ください。
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※AMATコンポーネント・付帯設備の保守・修理業務に関してのお問合わせは以下まで。
【お問合わせ先】
株式会社アークステーション
半導体機器部
〒105-0013 東京都港区浜松町1-18-11 ATビル浜松町3階
TEL：03-3432-1464（代） FAX：03-3432-1421
mail：info@ark-station.com
