ウエハ表面異物検査装置

dust detection

ウェーハ表面異物検査装置 (WM series)

【WM-10】

WM-10は300mmウェーハの標準モデルです。
60nmの高感度検査システムです。

WM-10

【WM-7】

WM-7シリーズは、200mmウェーハサイズ以下の高性能モデルです。
WM-7SGは透明ウェーハを検査することが可能です。

WM-7S/7SG
WM-10 WM-7S/7SG
Sensitivity 48nm@Bare-Wafer 79nm@Bare-Wafer:WM-7S
200nm@Glass-Wafer:WM-7SG
Wafer Size ~300mm ~200mm
Optical Source Laser Diode(405nm)
Loader FOUP(1or2)/Open Cassette Open Cassette
Size 1500mm×1300mm×1950mm 860mm×900mm×1650mm
Application Bare-wafer/Filmed-wafer