インライン型二次イオン質量分析装置

• Nova METRION®は二次イオン質量分析（SIMS）技術を利用し、高解像度とデータ密度で深さ方向の化学組成を直接、インラインで測定する革命的な材料分析装置です。
• METRIONは、300mmウエハープロセスのイオン注入モニターだけではなく多層膜全体を通して、複数の化学種を同時に測定することができます。
• フィルム分析およびレシピ管理を組み込んだプロセスオートメーションにより、システムの使いやすさとデータ取得までの時間の短縮を実現します。
• SIMSをインラインに導入することで、外注では不可能な圧倒的なデータを取得することで、スクラップの発生を防ぎ、再加工を減らし、HVMワークフローの監視と制御に必要なより厳格なSPCを可能にします。

Nova Ltd. (http://www.novami.com)
NOVA社は、世界各地に展開するグローバルな半導体用計測・検査装置およびソフトウェアテクノロジーのマーケットリーダーです。
NOVA社が提供する計測装置は様々な分野へ幅広い製品群が提供されており、半導体製造工程におけるプロセスコントロール、品質、信頼性の問題解決を支援しています。