Nanometrics（膜厚測定装置）

動作保証のパーツ供給

【保有装置】Nanospec M8000 XSE／M8300 XSE／M210／M5100
私どもの保有している実機を使い、入手したパーツの動作を事前にチェックすることが可能です。
これらによりお客様へのパーツ供給に対しても、信頼性の向上を確実なものにします。
他のサードパーティーとは違う、メーカーとの正式な契約に基づいたサポートだからこそ、それを可能にしているのです。

入手不可能なパーツは中古部品という手段で延命処置

私どもは現在ご使用いただいている装置の延命が主目的です。
延命には部品供給が不可欠等のはいうまでもありません。
部品が手に入らず、装置を泣く泣く廃棄したケースも多いことでしょう。
お客様への部品の供給は次のようになります。
先ずはメーカー純正品から、次に代替品、それでも入手が困難な部品については、中古部品の手配をします。
メーカーではできない延命処置に対しての大きな違いでもあり、最大のメリットです。

膜厚測定評価

私どのも保有している装置を使い、さまざまな膜厚測定をご提供いたします。
測定はMAPPING機能を有した装置で、ウェハやその他の試料の膜厚分布も評価可能 膜厚測定はもちろんのこと、膜質の評価も承ります。

【測定事例】

• シリコン上の酸化膜などの、半導体デバイスのスタンダードな膜種
• ステンレス上の酸化膜などの金属基板上の透明膜
• ウェハから、不定形な断片など

装置改造承ります

300mm、450mmウェハがこれから活躍する装置でしょうか？
化合物半導体などのような大口径化にすることが難しいものもまだまだ多く存在しています。
現在ご使用の装置で測定サンプルのサイズや形状を余儀なく変更されることもあります。
ステージの改造や試料台の供給もご相談ください。